euv光源目前唯一投入商业应用只有美国西盟科技生产的13.5极紫外光光源。
在阿斯麦尔提供的EUV光刻机中，光源系统来源于美国Cymer（西盟科技），Cymer目前也是ASML下属控股公司。
而其他团队也在研究euv光源的。比如清华大学团队通过探测辐射，研究团队验证了微聚束的形成，随后又验证了SSMB的工作机理。该粒子可以获得光刻机所需要的极紫外（EUV）波段，这为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。比如美国光源厂商Lyncean公开2千瓦EUV光源设计，完成度95%。
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